本設(shè)備采用液氨為原料,經(jīng)過催化分解后產(chǎn)生H2:N2比為3:1的氫氮混合氣體,加后級除殘氨及除水裝置后,輸出氣體中殘氨量小于5PPm,露點小于-65℃,可作為高品質(zhì)的還原性氣氛。